扫描电镜（SEM）样品需要做哪些预处理？

Question

Accepted Answer

导电样品（金属）可直接观察。非导电样品（陶瓷、聚合物、生物）需喷镀导电层，常用金（Au）或铂（Pt），厚度 5-20 nm。含水样品需脱水干燥（临界点干燥或冷冻干燥）。大尺寸样品需切割至适合样品台。观察截面需用离子抛光或机械抛光。真空镀碳适用于需做 EDS 分析的样品。