SEM 成像中二次电子和背散射电子信号的区别？

二次电子（SE）信号主要反映表面形貌信息，分辨率高（1-5 nm），对表面微细结构敏感。背散射电子（BSE）信号与原子序数相关，原子序数越大亮度越高，可用于成分衬度成像（区分不同相）。SE 适合形貌观察，BSE 适合相分布分析。两种信号可切换或同时采集。