场发射 SEM 与钨灯丝 SEM 的区别？

Question

Accepted Answer

场发射 SEM 使用场发射电子枪，电子束亮度高、束斑小（<1 nm），分辨率高（1-3 nm），适合纳米尺度观察。钨灯丝 SEM 使用热发射电子枪，分辨率相对低（3-10 nm），但操作简单、维护成本低、对真空要求较宽松。钨灯丝 SEM 适合常规材料分析和质量检验，场发射 SEM 适合精密科研和纳米材料分析。