FIB-SEM 双束系统的主要应用场景？

FIB-SEM 双束系统主要应用：1）TEM 样品原位制备（精确切取特定区域）；2）半导体失效分析（精确截面切割和观察）；3）三维重构（连续切片+SEM 成像构建 3D 模型）；4）纳米加工和原型制造；5）EBSD 样品制备（表面精细抛光）；6）电路修改（切割和沉积导线）。