聚焦离子束电子束双束显微镜 后期维护重点是什么？

聚焦离子束电子束双束显微镜 后期维护应关注易耗件更换、关键部件状态、校准或性能验证、软件备份、运行环境和异常报警记录。采购前可要求供应商提供常用耗材清单、建议维护周期和年度运行成本估算。