HORIBA LEM IEP 激光干涉终点检测仪 适合哪些元素分析场景？

HORIBA LEM IEP 激光干涉终点检测仪 适合用于金属、矿物、环境、食品、材料和合规筛查中的元素含量控制。选型时不要只看型号名称，建议同时确认样品类型、检测目标、通量、执行标准、数据输出和后续维护要求。现有资料中该产品的重点信息包括：LEM 是一款基于干涉测量技术的高精度薄膜厚度和沟槽深度检测设备，适用于蚀刻和沉积制程。LEM 通过在样品表面产生小激光点，利用单色光干涉原理，实时监测蚀刻/沉积速率和厚度，支持条纹计数及复杂分析，以提供增强的制程控制终点检测。该系统包含 。