术语定义

扫描电子显微镜

扫描电子显微镜（Scanning Electron Microscope, SEM）是利用聚焦电子束扫描样品表面，通过检测二次电子或背散射电子成像的高分辨率表面形貌分析工具。SEM 可提供纳米级别的表面细节，广泛应用于材料科学、半导体、生物学等领域的微观结构观察。