术语定义

透射电子显微镜

透射电子显微镜（Transmission Electron Microscope, TEM）是利用高能电子束穿透超薄样品，通过透射电子成像来观察样品内部微观结构的仪器。TEM 分辨率可达原子级别，常用于纳米材料、晶体结构、薄膜界面等研究。配合 EDS、EELS 等附件可进行成分分析。