术语定义

聚焦离子束

聚焦离子束（Focused Ion Beam, FIB）技术使用精密聚焦的离子束（通常为镓离子）对样品进行纳米级切割、沉积和成像。FIB 常与 SEM 组成双束系统（FIB-SEM），用于 TEM 样品制备、半导体失效分析、三维纳米加工等。