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术语定义
电感耦合等离子体质谱(ICP-MS)是将 ICP 离子源与质谱检测器结合的元素分析技术。具有极低的检出限(ppt 级别)、宽线性范围(9 个数量级)和快速多元素分析能力。广泛应用于半导体超纯材料分析、环境水质监测、地质勘探、临床金属中毒检测等需要超痕量分析的领域。