iCAP™ TQ ICP-MS

Thermo Scientific™ iCAP™ TQ ICP-MS 采用三重四极杆技术，是一种高性能 ICP-MS，适用于在与半导体行业相关的多种挑战性基质中进行痕量元素超痕量定量检测。在不牺牲其作为灵敏、易用的台式仪器所具备的检测能力的前提下，具有三重四极杆技术出色的干扰去除能力。

体验超痕量分析的优势，并扩展实验室应用组合，确保您的操作员能够通过使用 Thermo Scientific™ Qtegra™ Intelligent Scientific Data Solution™ (ISDS) 软件快速接受三重四极杆 ICP-MS。

Thermo Scientific iCAP TQ ICP-MS 具有更强的干扰去除能力，可更好地对各种极具挑战性的基质中的元素杂质进行检测。由于 iCAP TQ ICP-MS 占地面积小，加上具有简化的工作流程并支持自动化方法开发而特别易于使用，使其成为用于确保关键生产工艺一致性和提高半导体硅片加工产量而进行近线质量控制的理想检查工具。

使用 iCAP TQ ICP-MS，借助三重四极杆 ICP-MS 性能和易用性超越检测界限：

• 强大的三重四极杆技术，可提高干扰去除能力和首次分析的正确性。
• 进行超低甚至挑战性基质检测。
• 使用独特的反应查询方法开发助手轻松进行快速设置。
• 通过集成式反应气体处理功能，进行可靠的仪器操作。
• 干燥前级真空泵确保室内环境清洁。