HORIBA PD-Xpadion 光掩膜异物检测装置 可以测哪些类型的颗粒样品？
HORIBA PD-Xpadion 光掩膜异物检测装置 适合粉体、浆料、乳液、悬浮液、纳米材料或相关工业样品的粒径表征。选型时要确认粒径范围、分散方式、样品是否团聚或吸湿，以及报告需要 D10、D50、D90 还是完整分布。
PD-Xpadion
PD-Xpadion是HORIBA最新一代光掩膜颗粒检测产品，采用模块化平台设计，适用于光刻和掩膜生产的各种检测需求。结合Fab自动化和HORIBA的核心技术，PD Xpadion不仅能进行颗粒检测，还能通过拉曼分析对颗粒进行表征，并监测膜厚、均匀性和膜健康状况。该设备具备高机械强度、高灵活性、高性能和高模块化特点，平均故障间隔时间达1500小时，正常运行时间超过98%，可实现光掩膜三个面的高效扫描。
森德仪器提供 HORIBA PD-Xpadion 在全国范围内的代理经销、选型咨询、报价沟通、采购支持、安装培训和售后协同服务，价格面议。
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PD-Xpadion 是 HORIBA 光掩膜颗粒检测产品线的最新一代产品。基于创新的模块化平台设计，PD Xpadion可以满足光刻和掩膜生产过程中掩膜和薄膜检测的各种需求。通过 Fab 自动化与 HORIBA 的整套核心技术相结合，允许用户扩展 PD Xpadion 系统，不仅包括颗粒检测，还包括通过拉曼分析进行颗粒表征，膜膜厚度和均匀性，以及膜健康监测工具。
高机械强健度：平均故障间隔时间高达 1500 个小时；可以保证98%以上的正常运行时间。
高灵活性：可以实现 5 寸到 9 寸的光掩膜扫描；兼容 ASML, NIKON，CANON 等一系列厂商的光罩盒；可以支持不同的光掩膜承载手段。
高性能：可以实现光掩膜三个面的扫面（玻璃面，薄膜面以及图形面）；单面的扫面时间仅需要 4 分钟；标配 0.5 um 的精度；良好的误检过滤算法。
高模块化：可以连接 OHT/EFEM 等自动化设备；可以连接颗粒去除系统（见下图）；可以增加量测手段来实现多种不同应用的表征。
颗粒去除系统：RP-1
精度规格：0.5 um/0.35 um/0.1 um
吞吐量：12 min/片 （上下两面扫描）
环境光罩尺寸：5寸-9寸
正常运行时间：98%
采购问答
HORIBA PD-Xpadion 光掩膜异物检测装置 适合粉体、浆料、乳液、悬浮液、纳米材料或相关工业样品的粒径表征。选型时要确认粒径范围、分散方式、样品是否团聚或吸湿，以及报告需要 D10、D50、D90 还是完整分布。
分散介质、超声强度、搅拌速度、遮光率和样品浓度都会影响粒径结果。采购前建议用代表样品确认干法或湿法条件，并评估重复性，而不是只比较仪器量程。
粒度测试通常需要固定分散条件、测试次数、折射率或材料参数。验收时建议参考 ISO 13320 或企业方法要求，用质控样和真实样品同时确认结果稳定。
HORIBA PD-Xpadion 光掩膜异物检测装置 适合用于粉体、浆料、乳液、纳米材料、制药和新能源材料的粒径分布评估。选型时不要只看型号名称，建议同时确认样品类型、检测目标、通量、执行标准、数据输出和后续维护要求。现有资料中该产品的重点信息包括：PD-Xpadion是HORIBA最新一代光掩膜颗粒检测产品，采用模块化平台设计，适用于光刻和掩膜生产的各种检测需求。结合Fab自动化和HORIBA的核心技术，PD Xpadion不仅能进行颗粒检测，还能通过拉曼分析对颗粒进行表征，并监测膜。
采购 PD-Xpadion 前建议确认核心性能指标、样品兼容性、自动化程度、软件和数据要求、安装条件、耗材维护、培训安排和售后响应。这样可以避免到货后才发现配置不足或现场条件不匹配。
HORIBA PD-Xpadion 光掩膜异物检测装置 的价格差异通常来自主机配置、检测或控制模块、自动化附件、软件授权、耗材包、安装培训、质保年限和应用支持范围。询价时建议要求按必选配置、可选升级和服务耗材分项列清。
比较 PD-Xpadion 与同类产品时，建议重点看性能稳定性、方法适配能力、扩展接口、软件易用性、耗材可获得性、维护复杂度和本地服务能力。长期使用场景下，运行成本往往和采购价同样重要。
安装前应确认空间尺寸、供电、温湿度、台面或地面承重、气源、水源、排风、网络接口和安全要求。精密分析设备还要关注振动、粉尘、电磁干扰和日常维护通道。
HORIBA PD-Xpadion 光掩膜异物检测装置 后期维护应关注易耗件更换、关键部件状态、校准或性能验证、软件备份、运行环境和异常报警记录。采购前可要求供应商提供常用耗材清单、建议维护周期和年度运行成本估算。
森德仪器可围绕 HORIBA PD-Xpadion 光掩膜异物检测装置 提供广东、广州及华南区域的选型沟通、配置报价、采购支持、安装培训和售后协同。沟通时建议提供样品信息、应用目标、预算范围和交付时间，便于快速形成可执行方案。
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