HORIBA PD-Xpadion 光掩膜异物检测装置

PD-Xpadion

PD-Xpadion是HORIBA最新一代光掩膜颗粒检测产品，采用模块化平台设计，适用于光刻和掩膜生产的各种检测需求。结合Fab自动化和HORIBA的核心技术，PD Xpadion不仅能进行颗粒检测，还能通过拉曼分析对颗粒进行表征，并监测膜厚、均匀性和膜健康状况。该设备具备高机械强度、高灵活性、高性能和高模块化特点，平均故障间隔时间达1500小时，正常运行时间超过98%，可实现光掩膜三个面的高效扫描。

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