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HORIBA PD-Xpadion 光掩膜异物检测装置

PD-Xpadion

PD-Xpadion是HORIBA最新一代光掩膜颗粒检测产品,采用模块化平台设计,适用于光刻和掩膜生产的各种检测需求。结合Fab自动化和HORIBA的核心技术,PD Xpadion不仅能进行颗粒检测,还能通过拉曼分析对颗粒进行表征,并监测膜厚、均匀性和膜健康状况。该设备具备高机械强度、高灵活性、高性能和高模块化特点,平均故障间隔时间达1500小时,正常运行时间超过98%,可实现光掩膜三个面的高效扫描。

品牌: HORIBA产地: 日本价格: 面议服务区域: 全国

森德仪器提供 HORIBA PD-Xpadion 在全国范围内的代理经销、选型咨询、报价沟通、采购支持、安装培训和售后协同服务,价格面议。

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HORIBA PD-Xpadion 光掩膜异物检测装置

PD-Xpadion 是 HORIBA 光掩膜颗粒检测产品线的最新一代产品。基于创新的模块化平台设计,PD Xpadion可以满足光刻和掩膜生产过程中掩膜和薄膜检测的各种需求。通过 Fab 自动化与 HORIBA 的整套核心技术相结合,允许用户扩展 PD Xpadion 系统,不仅包括颗粒检测,还包括通过拉曼分析进行颗粒表征,膜膜厚度和均匀性,以及膜健康监测工具。


产品特色


  • 高机械强健度:平均故障间隔时间高达 1500 个小时;可以保证98%以上的正常运行时间。

  • 高灵活性:可以实现 5 寸到 9 寸的光掩膜扫描;兼容 ASML, NIKON,CANON 等一系列厂商的光罩盒;可以支持不同的光掩膜承载手段。

  • 高性能:可以实现光掩膜三个面的扫面(玻璃面,薄膜面以及图形面);单面的扫面时间仅需要 4 分钟;标配 0.5 um 的精度;良好的误检过滤算法。

  • 高模块化:可以连接 OHT/EFEM 等自动化设备;可以连接颗粒去除系统(见下图);可以增加量测手段来实现多种不同应用的表征。

颗粒去除系统.png

颗粒去除系统:RP-1


核心参数


  • 精度规格:0.5 um/0.35 um/0.1 um

  • 吞吐量:12 min/片 (上下两面扫描)

  • 环境光罩尺寸:5寸-9寸

  • 正常运行时间:98%


技术指标


INS-产品上传-图表 (1).png


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PD-Xpadion 常见问题

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