HORIBA PD-Xpadion 光掩膜异物检测装置 安装前要准备哪些现场条件？

安装前应确认空间尺寸、供电、温湿度、台面或地面承重、气源、水源、排风、网络接口和安全要求。精密分析设备还要关注振动、粉尘、电磁干扰和日常维护通道。