术语定义聚焦离子束聚焦离子束(Focused Ion Beam, FIB)技术使用精密聚焦的离子束(通常为镓离子)对样品进行纳米级切割、沉积和成像。FIB 常与 SEM 组成双束系统(FIB-SEM),用于 TEM 样品制备、半导体失效分析、三维纳米加工等。暂无关联内容