国仪量子双束显微镜DB550是一款优雅全能的纳米分析和制样工具，低电压高分辨的电子镜筒，保证纳米分析能力。“承影”离子镜筒提供了高稳定、高质量的离子束流，保证纳米加工能力。集成式的纳米机械手、气体注入器，一体化设计的控制软件，为您打造全能纳米分析和加工中心
DB550
国仪量子双束显微镜DB550集成了自主可控的场发射电子镜筒和“承影”离子镜筒，具备高压隧道技术和低像差无漏磁物镜设计，提供高分辨率成像和高质量纳米加工能力。该设备配备纳米机械手和气体注入器，扩展口多达24个，支持全面配置与强扩展性，为用户提供全能纳米分析和加工解决方案，并提供三年质保服务。
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聚焦离子束电子束双束显微镜DB550
国仪量子双束显微镜DB550是一款优雅全能的纳米分析和制样工具，低电压高分辨的电子镜筒，保证纳米分析能力。“承影”离子镜筒提供了高稳定、高质量的离子束流，保证纳米加工能力。集成式的纳米机械手、气体注入器，一体化设计的控制软件，为您打造全能纳米分析和加工中心
产品优势
高压隧道技术和无漏磁物镜的电子镜筒，高分辨率成像，兼容磁性样品
“承影”离子镜筒，高稳定、高质量的离子束流，用于高质量纳米加工和TEM制样
样品仓内压电陶瓷驱动的机械手，集成式控制方式，操作精准到位
自主可控，扩展性强，集成化设计的离子源更换时间快，及时有效的售后服务
技术介绍
"承影"离子镜筒
技术特点
分辨率：3 nm@30 kV
探针电流：1 pA~65 nA
加速电压范围：500 V~30 kV
使用寿命：≥1000小时
长时间稳定性：72小时不间断工作
纳米机械手
技术特点
仓内安装方式
全压电驱动
编码精度≤10nm
最大移动速度2mm/s
集成式控制方式
离子束-电子束协同
气体注入器
单气体注入
多种气源可选
伸缩距离≥35 mm
重复定位精度≤10 um
加热温度控制精度≤0.1℃
加热温度范围：室温~90℃
集成式控制方式
应用案例
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